技术运用 : 雷射蚀刻绿色制程
● 干式蚀刻制程：直接以雷射光束进行干式蚀刻制程有别于传统湿式繁复的光微影制程。
● 应用于透明导电材料及银胶等导电层的干式蚀刻制程，以雷射移除导电层完成图形转换之目的。
● 无光罩制程、省成本、打样快、缩短开发时间。
● 单一步骤、快速、低温、节能环保的绿色制程。
| 线路设计 | 湿式制程-黄光微影技术 | |||||
| 光阻涂布 | 曝光 | 显影 | 干燥 | 蚀刻 | 脱膜 | |
- 开光罩费用高
- 需要化学材料中央供给系统
- 需要建置废液处理系统
- 繁复制程-高成本耗能
| 线路设计 | 干式制程-雷射蚀刻 |
- 没有光罩费用
- 不需中央供给系统、没有废液
- 单一制程-绿色环保节能
银导线线路光学显微镜照片
透明导电层可以雷射蚀刻技术，制程简单稳定快速
