技術運用 : 雷射蝕刻綠色製程
● 乾式蝕刻製程：直接以雷射光束進行乾式蝕刻製程有別於傳統濕式繁複的光微影製程。
● 應用於透明導電材料及銀膠等導電層的乾式蝕刻製程，以雷射移除導電層完成圖形轉換之目的。
● 無光罩製程、省成本、打樣快、縮短開發時間。
● 單一步驟、快速、低溫、節能環保的綠色製程。
| 線路設計 | 濕式製程-黃光微影技術 | |||||
| 光阻塗布 | 曝光 | 顯影 | 乾燥 | 蝕刻 | 脫膜 | |
- 開光罩費用高
- 需要化學材料中央供給系統
- 需要建置廢液處理系統
- 繁複製程-高成本耗能
| 線路設計 | 乾式製程-雷射蝕刻 |
- 沒有光罩費用
- 不需中央供給系統、沒有廢液
- 單一製程-綠色環保節能
銀導線線路光學顯微鏡照片
透明導電層可以雷射蝕刻技術，製程簡單穩定快速
